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鎢燈絲掃描電鏡的原理和優缺點

發布時間:2022-11-04      點擊次數:481
鎢燈絲掃描電鏡總發射電流和束斑都較大,抗干擾能力和穩定性都較好,低真空下可以對不導電樣品無荷電成像,可用于形貌觀察、顯微結構分析、斷口形貌分析,在材料、地質、礦產、冶金、機械、化學、化工、物理、電子、生物、醫學等領域都有廣泛的用途。
 
工作原理:
 
通過對電子槍內的鎢燈絲加高電壓,使電子槍處于熱激發狀態,在陽極作用下,處于熱激發的電子槍就可以激發出電子束。經過掃描線圈磁場的控制,電子束在樣品表面逐點掃描,激發出二次電子、背散射電子等物理信號,經探測器收集、放大器放大后,調制得圖像。鎢燈絲掃描電鏡適合大量的常規檢測。
 
與其他陰極相比,鎢陰極電子槍的優點有:
 
1.對真空度的要求不是很高,它可以在相對較低的真空度(<10Pa)下工作,電子光學和真空系統結構都較簡單,整體造價較低。
 
2.總發射電流和束斑都比較大,且相對穩定,其抗震和抗干擾能力較強,特別適合作電鏡的電子源。
 
3.結構簡單,加工容易,維持費用較低,維護和保養也較簡單、易行。
 
與其他陰極相比,鎢燈絲的不足之處是:
 
1.總發射束流雖大,但束流密度小,發射效率低,信噪比較差,比較難滿足拍攝超高分辨圖像的需要。
 
2.化學穩定性也較差,容易與空氣中的水分發生作用,產生所謂的“水循環”,而壽命短。
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